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    超声波干式除尘机
    应用范围

    适用于电池涂布、半导体器件和玻璃基板的除尘。

    设备优势

    干式非接触除尘的方式，避免污染或损伤材料表面

    超声波除尘头无需维护，只需维护风机及更换滤芯

    相比传统非接触式风刀除尘，能去除6um以下尘粒

    科学设计的封闭循环系统，不会污染洁净室

    主要参数
    腔体压力
    4-5KPa
    负压口压力
    -4~-1KPa
    工作距离
    5mm以内，1.5mm最佳
    使用环境
    万级以下干燥无尘车间
    功率
    7.5KW/11.5KW
    电源
    380V，50/60HZ
    处理风量
    >600m³/h
    过滤效率
    99%，0.3um精度
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